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封裝
TRESKY全自動微組裝系統
倒裝貼片系統T6000L
高精度共晶粘片機T6000L/G
T-8000G
TRESKY半自動微組裝系統
T-3000-PRO&T-3002PRO
高精度微組裝系統T4909AE
T-5100、T-5100-W
T-5300、T-5300-W
F&K Delvotec引線鍵合
超大行程引線鍵合機
大行程引線鍵合機
雙頭引線鍵合機
金絲球焊引線鍵合機
F&S Bondtec引線鍵合機
56xx wire bonder引線鍵合機
58xx wire bonder引線鍵合機
53xx wire bonder引線鍵合機
AMADA平行縫焊,儲能焊機
手套箱系列
Projection 激光封焊儲能焊機
SM8500 手動平行封焊機
AF8500 自動平行封焊機
REK真空共晶回流爐
真空共晶回流焊爐
檢測
DAGE焊接強度測試機
推拉力剪切力測試儀4000HS
焊接強度測試儀Dage4000 Plus
SONOSCAN 超聲掃描顯微鏡
超聲波掃描顯微鏡P300
超聲波掃描顯微鏡AW300
超聲波掃描顯微鏡Gen7
D9650、D9650Z
YXLON X射線檢測系統
YXLON XRAY檢測系統FF35 CT
YXLON Cougar EVO Series
YXLON Cheetah EVO Series
CYBER三維表面測量系統
非接觸光學表面曲翹度測量儀
白光共聚焦測試儀VANTAGE 1
非接觸光學表面測量系統
三維表面粗糙度測量系統
前道
MPCVD微波等離子體化學氣相沉積系統
MPCVD微波等離子體化學氣相沉積系統
HHV科研用真空鍍膜系統
TF500/600
Auto500GB
Auto500
Auto306
Trion等離子沉積,刻蝕
化學氣相沉積PECVD系統
單腔去膠系統
雙腔去膠系統
全自動化等離子系統
THERMCO擴散,退火,LPCVD工藝爐
LPCVD化學氣相沉積工藝爐
LPCVD化學氣相沉積工藝爐
TEMESCAL精密電子束蒸發鍍膜系統
4900/5700型電子束蒸發鍍膜系統
方腔式電子束蒸發鍍膜設備
方腔式電子束蒸發鍍膜設備
電子束蒸發設備BJD/FC-2000
金剛石/碳化硅
MPCVD微波等離子體化學氣相沉積系統
微波等離子體化學氣相沉積系統MPCVD
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氣相沉積設備ATS500
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YXLON XRAY檢測系統FF35 CT
SM8500 手動平行封焊機
電子束蒸發設備BJD/FC-2000
AF8500 自動平行封焊機
反應離子刻蝕機
產品資料
TF500/600
簡介:
HHV TF500及TF600系統設計具有可靠工藝能力,可以進行
電子束蒸發
,熱阻蒸發等物理
氣相沉積
鍍膜。系統配置可選擇多種腔室尺寸和工藝附件,以符合用戶需求。這兩個型號的系統都可以安裝多個鍍膜源,也都支持離子束處理選項。有一系列預進樣室(Load Lock)和樣品操縱裝置可供選擇,以提高
真空鍍膜
效率。
產品詳情
系統配置不銹鋼真空腔室,高真空泵安裝在腔室后方。工藝附件布局采用可靠設計,向每個客戶提供滿意適配化的方案。工藝附件包括熱阻及
電子束蒸發
源、直流及射頻濺射源、用于工件刻蝕或輔助沉積的離子源。系統可以同時配置熱阻、電子束及磁控濺射源。濺射系統可以配置成向上或向下濺射的結構。工件臺選項包括加熱、冷卻、偏壓和預進樣操作等。
系統控制選項包括穩定的PLC真空控制系統配合手動操作的工藝附件的簡單模式,或者計算機集成控制的全自動模式。
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