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TRESKY全自動微組裝系統
倒裝貼片系統T6000L
高精度共晶粘片機T6000L/G
T-8000G
TRESKY半自動微組裝系統
T-3000-PRO&T-3002PRO
高精度微組裝系統T4909AE
T-5100、T-5100-W
T-5300、T-5300-W
F&K Delvotec引線鍵合
超大行程引線鍵合機
大行程引線鍵合機
雙頭引線鍵合機
金絲球焊引線鍵合機
F&S Bondtec引線鍵合機
56xx wire bonder引線鍵合機
58xx wire bonder引線鍵合機
53xx wire bonder引線鍵合機
AMADA平行縫焊,儲能焊機
手套箱系列
Projection 激光封焊儲能焊機
SM8500 手動平行封焊機
AF8500 自動平行封焊機
REK真空共晶回流爐
真空共晶回流焊爐
檢測
DAGE焊接強度測試機
推拉力剪切力測試儀4000HS
焊接強度測試儀Dage4000 Plus
SONOSCAN 超聲掃描顯微鏡
超聲波掃描顯微鏡P300
超聲波掃描顯微鏡AW300
超聲波掃描顯微鏡Gen7
D9650、D9650Z
YXLON X射線檢測系統
YXLON XRAY檢測系統FF35 CT
YXLON Cougar EVO Series
YXLON Cheetah EVO Series
CYBER三維表面測量系統
非接觸光學表面曲翹度測量儀
白光共聚焦測試儀VANTAGE 1
非接觸光學表面測量系統
三維表面粗糙度測量系統
前道
MPCVD微波等離子體化學氣相沉積系統
MPCVD微波等離子體化學氣相沉積系統
HHV科研用真空鍍膜系統
TF500/600
Auto500GB
Auto500
Auto306
Trion等離子沉積,刻蝕
化學氣相沉積PECVD系統
單腔去膠系統
雙腔去膠系統
全自動化等離子系統
THERMCO擴散,退火,LPCVD工藝爐
LPCVD化學氣相沉積工藝爐
LPCVD化學氣相沉積工藝爐
TEMESCAL精密電子束蒸發鍍膜系統
4900/5700型電子束蒸發鍍膜系統
方腔式電子束蒸發鍍膜設備
方腔式電子束蒸發鍍膜設備
電子束蒸發設備BJD/FC-2000
金剛石/碳化硅
MPCVD微波等離子體化學氣相沉積系統
微波等離子體化學氣相沉積系統MPCVD
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YXLON XRAY檢測系統FF35 CT
SM8500 手動平行封焊機
電子束蒸發設備BJD/FC-2000
AF8500 自動平行封焊機
反應離子刻蝕機
產品資料
Auto500
簡介:
Auto500是一套多功能的
真空鍍膜
系統平臺,主要用于科學研究、技術開發或試生產。其真空腔室采用了前開門的箱式設計,可以容納大尺寸樣品。通過可選擇的設備配置能分別實現熱阻蒸發、
電子束蒸發
及磁控濺射等各種物理
氣相沉積
工藝,甚至也可以將前面三種鍍膜工藝同時組合在一臺設備里。
產品詳情
真空腔室安放在內部裝載有真空泵系統的基座上。系統的真空系統由觸摸屏操作顯示的PLC自動控制。PLC顯示操作面板以及其他工藝附件的控制面板都集中安裝在真空腔室旁邊的19”標準控制機柜上,操作十分方便。
Auto500既可以只配置單個鍍膜源,也可以配置成多個不同的鍍膜源,其工藝配置靈活性非常高,并且也很容易進行現場升級。
Auto500還可以配置一系列樣品承載臺,可實現樣品旋轉、傾斜、加熱、冷卻、偏壓等。
真空系統可選無油干泵、分子泵及低溫冷凝泵等。
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CIOE 2024 中國光博會
電子束蒸發的應用及優缺點
反應離子刻蝕的基本原理與應用
平行封焊原理
2024年上海國際半導體展覽會 SEMICON CHINA
共晶貼片機是一種高科技的設備,它都應用在哪些工作場景之中?
反應離子刻蝕的應用與注意事項
真空鍍膜的應用領域
化學氣相沉積的特點
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引線鍵合機的定義和特點
超聲波掃描顯微鏡簡介
反應離子刻蝕的作用與應用領域
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北京電話:+86-010-88893350/51
上海電話:138 1676 2857
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